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快速光学轮廓仪 光学3D表面轮廓仪解决方案

来自: 一键式测量仪 · 英昊达2019-3-8

快速光学轮廓仪

光学3D表面轮廓仪解决方案

2017-03-28

一、    产品简介

 

快速光学轮廓仪

光学3D表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。

 

 

快速光学轮廓仪

 光学3D表面轮廓仪可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、国防军工、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等,提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。

二、    产品功能

1)    一体化操作的测量与分析软件,操作无须进行切换界面,预先设置好配置参数再进行测量,软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能,即可快速实现批量测量功能。

2)     测量中提供自动多区域测量功能、批量测量、自动聚焦、自动调亮度等自动化功能。

3)     测量中提供拼接测量功能。

4)     分析中提供调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能,其中调整位置包括图像校平、镜像等功能;纠正包括空间滤波、修描、尖峰去噪等功能;滤波包括去除外形、标准滤波、过滤频谱等功能;提取包括提取区域和提取剖面等功能。

5)     分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能,其中粗糙度分析包括依据国际标准的ISO4287的线粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全参数分析功能;几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量和直线度、圆度形位公差评定等功能;结构分析包括孔洞体积和波谷深度等;频率分析包括纹理方向和频谱分析等功能;功能分析包括SK参数和体积参数等功能。

6)     分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能,设置分析模板,结合测量中提供的自动测量和批量测量功能,可实现对小尺寸精密器件的批量测量并直接获取分析数据的功能。

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快速光学轮廓仪

产品介绍:

该系列产品主要针对平板电脑屏、笔记本电脑屏、车载导航屏、人工智能界面、异形车内饰面板等二维尺寸、轮廓尺寸的快速测量。传统2D测量设备测量一片16寸的玻璃屏幕上面的内长内宽、外出外壳、外形全轮廓扫描等2万多个尺寸需要30分钟,该设备只需15秒即可完成。

主要参数:

型号

OMQ4030

OMQ5040

外部尺寸(mm

1400×1200×2200

1500×1300×2200

重量(kg

500

550

承重(kg

3

3

图像传感器

2900万像素工业相机

2900万像素工业相机

镜头

双远心双视野光学镜头

测量范围mm

400×300

500×400

测量精度(um

3+L/200

3+L/200

最小显示单位(mm

0.001

Z工作距离mm

410mm

410mm

轮廓光

(远心平行光源)自动打光补光

(远心平行光源)自动打光补光

图像处理

IVT先进图像分析方法,256灰度等级,20:1亚像素处理技术

软件

IVT-VISION

工作环境

温度22℃±2℃ 湿度:3080%

振动0.002mm/s,<15Hz

电源

220V/50Hz

 

 
行业知识
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